2019年3月15日星期五
清洗石英管的方法有哪些
清洗石英管的方法有:石英玻璃在半導體工業設備上,使用溫度石英舟經常在 1000 ℃至 1300 ℃之高溫狀態,在此種狀態下由於陶瓷附著不純物導致失透現像發生,失透之部分為石英之晶質化,晶質化之變態點為 275 ℃,當石英玻璃自高溫降至此變態溫度時,表面失透之晶質化部分與石英玻璃本身高溫之 α 相與低溫之 β 相間膨脹系數不同在急速冷卻下產生不透明之剝離狀更嚴重時會造成破裂現像產生。
為使石英制品能使用更久,就必須注意防止造成石英失透產生的原因,而造成失透的污染源就屬堿金屬、堿土金屬、汗水、口水、油污、塵埃…… 等等。且0、1mg/cm2l}k 就會造成數十倍或數百倍的失透量。因此,防止這些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外,使用在高溫作業之前必先做清洗之工作以確保石英表面之潔淨度。一般石英之洗淨須要一些程序首先石英用純水先衝洗表面,再置入酸洗槽內浸泡一些時間,取出後石英管再用純水衝洗後晾干。
石英玻璃管使用須知
1、石英玻璃管石英玻璃制品是貴重的材料,使用時必須輕拿輕放陶瓷,十分小心;
2、各種石英玻璃都有一個最高使用溫度,使用時不應超過此溫度,否則會石英析晶或軟化變形;
3、需高溫使用的石英玻璃,使用前必須擦拭干淨。可以用10%的氫氟酸或洗液浸泡,然後用高純水清洗或酒精處理。操作時應戴細線手套,不允許用手直接觸及石英玻璃;
4、高溫下允許連續使用石英玻璃制品,這對延長石英玻璃的壽命和提高耐溫性能是有好處的。石英管反之,高溫下間歇使用石英玻璃制品,其使用次數是有限的;
5、石英玻璃材質雖具有極高的熱穩定性,可以經受劇烈的溫差驟變。但實際使用時,由於殘余應變和產品形狀不同,熱穩定性有一定的差別,使用時應加以注意;
6、石英玻璃系酸性材料,高溫使用時嚴格避免同堿性物石英舟質(如水玻璃、石棉、鉀鈉的化合物等)接觸,否則將大大降低其抗結晶性能。
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